【作者】

黄 凯，郭海波，陈益钢

【摘要】

以乙炔为碳源，采用磁控溅射辅助线性离子源技术制备含TiC的DLC薄膜。薄膜的沉积速度是纯离子束沉积速率的三倍以上。沉积的DLC薄膜的最小表面粗糙度为2.2 nm，最高硬度为11.97GPa。利用红外光谱、X射线衍射、拉曼光谱和原子力显微镜研究了离子束电压和沉积温度对材料组成、微观结构和表面状态的影响。通过纳米压痕试验，分析了DLC薄膜中H、TiC以及sp3键的含量对薄膜力学性能的影响。

【会议名称】

中国内燃机学会2019年联合学术年会

【会议地点】

天津

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